目前，沈阳芯源公司已申请专利300余项，其中发明专利272项（美国专利5项，台湾专利12项）。目前拥有授权专利145项，其中发明专利127项，拥有37项软件著作权，主持制定了行业标准《喷雾式涂覆设备通用规范》1项。芯源技术及产品荣获国家战略性创新产品、国家重点新产品、中国半导体创新产品和技术奖及省、市科技进步奖等多项奖励。